本系统采用间壁对流传热方式将主水吸收的热量传递给外循环副水，以纯水（去离子水）作为主冷却介质，主冷却水循环回路和副冷却水路，设有水流量、水温、水质、水压可控. 当装置在恶劣条件下运行时，能稳定地向主机输出额定温度、压力、流量的纯水。有效地避开露点，防止硅元件及主机管道的结露现象。为了防止纯水受容器管道污染而导致水质下降，本机主循环冷却系统采用不锈钢板片，以及水泵、水箱、纯水管路等均采用1Cr18Ni9Ti材质，其他的采用工程塑料制造，耐腐蚀性能好，并装有水质处理设备能有效地保证高纯度水质，从而避免主机管道的结垢等电腐蚀现象，确保主机在额定范围内安全可靠地运行。另外，本机配有大容量的不锈钢水箱，而且直接安装在管路系统中，较普通纯水冷却器具有更优越的散热效果。